国学问产权局信息显现，佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司恳求项名为“离子束扫描刻蚀法及真空刻蚀机”的利张家界塑料挤出设备厂家，公开号CN122260573A，恳求日历为2026年5月。

利摘要显现，本恳求波及真空刻耗费界限，十分是种离子束扫描刻蚀法及真空刻蚀机，其中，所述刻蚀法包括：在基片上进行光刻获得波图形；将基片装载到真空刻蚀机的工件台上，退换基片位使得基片的波图形向与工件台的扫描向对王人并保抓平行；然后运行真空刻蚀机引出离子束对基片进行刻蚀，并遏抑工件台沿扫描向进行扫描畅通，使得离子束以类似掠入射的角度作用于与扫描向平行的波侧壁；在刻蚀完成后，移除基片上剩余的掩模层获得具有垂直度侧壁的波结构；该本领案，不错获得具有垂直度侧壁的波结构，达成对刻蚀剖面和侧壁形容的主动、精准调控。

天眼查尊府显现，佛山市博顿光电科技有限公司，成立于2020年，位于佛山市，所以从事通用勾引制造业为主的企业。企业注册本钱10000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，佛山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1企业，塑料挤出机设备参与招投标形势22次，利信息138条张家界塑料挤出设备厂家，此外企业还领有行政许可11个。

中山市博顿光电科技有限公司，成立于2016年，位于中山市，所以从事打算机、通讯和其他电子勾引制造业为主的企业。企业注册本钱870.3913万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，中山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1企业，参与招投标形势23次，财产陈迹面有信息21条，利信息179条，此外企业还领有行政许可19个。

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